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2奈米製程的隱藏難題：光阻分析為什麼不能「加熱」?

當半導體製程進入2奈米與更先進世代，工程師遇到一個很實際的問題：怎麼在不搞壞材料的情況下，看清楚奈米級光阻長什麼樣子？國家實驗研究院的說法很直白：先進製程完成後...